Общество ограниченной ответственности "ДеКо Вакуум"
DeKo Vacuum Ltd.
|
Общество ограниченной ответственности "ДеКо Вакуум"
DeKo Vacuum Ltd.
|
|
|
Щит питания и ионного травления. Щит питания и ионного травления (щит управления), далее
по тексту щит питания, предназначен для подачи напряжения 1200 В постоянного
тока для ионной бомбардировки через высоковольтные вводы камеры на электроды 33
(см. рис.4.2). Напряжение питания 380/220 В, 50 Гц подается от силовой
сборки на вводной клеммник ХТ1 расположенный внутри щита. На передней панели щита расположены вольтметр и
амперметр для измерения напряжения и тока ионной очистки. Щит управления 1 (рис 4.1, рис.4.8.), предназначенный для дистанционного управления установкой и контроля ее работы, выполнен в виде стойки напольной конструкции с открывающимися дверями.
На лицевой стороне щита расположены блок питания датчиков вакуума, милливольтметр. Мнемосхема со встроенными в нее элементами управления и сигнализации расположена на передней панели пульта управления (См. рис.4.8.). На двери, расположены тумблеры местного управления насосами и арматурой. Вводной автоматический выключатель 29 расположен на правой боковой стенке щита. Электрическая связь камеры и щита управления осуществляется через жгуты. Все остальные элементы электрической схемы расположены
на панелях внутри щита. Устройство заземления 15 расположено сзади щита. Ввод
внешних кабелей возможен снизу щита. Принцип работы вакуумной, металлизационной установки основан на распылении материала мишени, которое осуществляется ионами рабочего газа, образующимися в плазме аномального тлеющего разряда в скрещенных электрических и магнитных полях.
|
|
Послать письмо
admin@deko-vacuum.ru with questions or comments about this web site.
|
