|
| |
Основные технические характеристики вакуумных установок с магнетронным
испарением металлов (УВМ-1600, УВМ-1600х3800) приведены в таблице 1.
Номенклатура показателей надежности и нормы надежности приведены в
таблице 2. Таблица 1
№
п/п |
Наименование параметра |
Норма |
УВМ-1600 |
УВМ-1600Е |
УВМ-1600х3800 |
УВМ-1200 |
1 |
Максимальная производительность установки, м2/цикл |
7,3 |
3,5
(плоское)
и 3 (тела вращения) |
16 |
4 |
2 |
Наибольшая величина натекания л.Па/с (л.мкм рт.ст./c) |
2 (15) |
3 |
Наибольшие размеры напыляемых изделий, мм |
1350
1300 |
1350
1300 (60) |
3250
1300 |
-
- |
4 |
Давление в вакуумной камере до напуска аргона, Па (мм рт.ст.) не более |
6,65 10-3 (5.10-5) |
5 |
Давление в вакуумной камере во время ионной очистки, Па (мм рт.ст.), не
более |
13,3 (1.10-1) |
6 |
Давление в вакуумной камере при напылении Па (мм рт.ст.) |
10-1 –
5x10-1
(1.10-3 - 5.10-3) |
7 |
Время откачки камеры без подложек до давления 6,65.10-3 (5.10-5 мм рт.ст.),
с, не более |
1500 |
1500 |
2100 |
- |
8 |
Распыляемый материал | |
9 |
Время ионной очистки для зеркал с, не менее |
420 |
10 |
Расход охлаждающей воды при температуре 288 К ± 5° К (15 °С ± 5 0С) и
давлении на входе в установку 2.105 Па (2 кгс/см2) л/ч, не более |
2000 |
- |
11 |
Габаритные размеры (без вакуумного насоса NL поз.12 и приемного
устройства), мм, не более |
2580
23453900 |
2580
23453900 |
2580
45003900 |
-
-
- |
12 |
Масса установки, кг, не более |
3500 |
3500 |
4000 |
- |
13 |
Толщина наносимого слоя покрытия, мкм, по латуни до |
5 |
14 |
Коэффициент отражения зеркал с алюминиевым отражающим покрытием, не
менее |
0,77 |
15 |
Расход газообразного аргона высшего сорта ГОСТ 10157-79 при давлении в
камере 6,65.10-1 Па (5.10-3 мм рт.ст.), кг/ч, не более |
2,5.10-2 |
16 |
Установленная мощность, кВт, не более |
70 |
70 |
85 |
35 |
17 |
Напряжение питающей сети при частоте 50 Гц, В |
380/220 |
Цены на оборудование (01.03.2013 г.):
1.
Состав и стоимость комплектующих вакуумных установок УВМ 1600х3800 (металлизация
стекла, пластмасс) .......
Состав и стоимость комплектующих вакуумных установок барабанного типа с
двойной системой испарения металлов (например, металлизация мебельной фурнитуры,
оптических отражателей, колпачков, мелких деталей, тел вращения и т.п. изделий):
2. Схема 1
Универсальная схема откачки вакуумной напылительной установки барабанного типа
металлизации деталей с повышенным газовыделением и магнетронным и термическим
испарением....
Стоимость комплектующих системы......
3. Схема 3
Минимально возможная схема откачки вакуумной напылительной установки
(термическое, дуговое испарение)....
Стоимость комплектующих системы.....
4.
Схема 4 Обычная схема откачки вакуумной напылительной установки металлизации
деталей....
Стоимость комплектующих системы....
Примечания:
1. Расход электроэнергии и время ионной очистки нормируется при напылении зеркал
алюминием, для других изделий не нормируется и устанавливается потребителем в
процессе эксплуатации установки.
2. Среднее время загрузки и выгрузки установки стёклами магнетронных установок
размером 1350х1300 равно 180 с.
Требования к надежности:Номенклатура показателей
надежности и нормы надежности должны соответствовать указанным в таблице 2. Таблица 2
Наименование показателя | Норма | 1. Средняя наработка на
отказ, ч, не менее | 300 | 2. Средний ресурс до
капитального ремонта ч, не менее | 5600 | 3. Средний срок службы до
капитального ремонта, год, не менее | 3 | 4. Средний срок
сохраняемости, год, не менее | 1 | 5. Коэффициент готовности,
не менее | 0,98 | 6. Установленная
безотказная наработка, ч, не менее | 64 | 7. Установленный ресурс до
капитального ремонта, ч, не менее | 2950 | 8. Установленный срок
сохраняемости, год, не менее | 1 |
Примечания: 1. Нормы показателей
безотказности обеспечиваются с учетом поставляемого с изделием комплекта ЗИП и
проведением потребителем технического обслуживания согласно эксплуатационной
документации. 2. Нормы показателей
долговечности обеспечиваются с учетом приобретаемого потребителем ремонтного
комплекта ЗИП. Под отказом установки
понимается событие, в результате которого рабочие параметры установки не
соответствуют требованиям пунктов 4, 7 таблицы 2.Критерии предельных
состояний установки - предельные состояния базовых деталей (камера, крышка
камеры), требующие восстановления путем полной разборки установки, сварки и
точной механической обработки на станках. Критерии отказов установки -
отказы составных частей и комплектующих изделий (КИ). Замена элемента из ЗИП
не рассматривается как отказ установки.
Видеоролик:
(требования: Pentium 1 и выше, звук. карта, проигрыватель Windows Media. Формат
MPEG-4)Установка УВН 1600х3800. |
