Общество ограниченной ответственности "ДеКо Вакуум"

  Домой Вверх Карта сайта

DeKo Vacuum Ltd.       

Домой
Вверх
Система вакууммирования
Питание
Управление вакуумной установкой
 

 

 

 

 

 

УСТРОЙСТВО И ПРИНЦИП РАБОТЫ вакуумной напылительной установки магнетронного типа УВМ 1600
Устройство установки.
Вакуумная металлизационная установка УВМ, - однокамерная, периодического действия. Управление установкой - дистанционное с пульта управления.
Установка напыления металлов состоит из вакуумной камеры, вакуумной откачной системы, приемного устройства, пульта управления, блоков питания магнетронов и гидравлической системы.
Устройство составных частей
Вакуумная камера
Вакуумная камера (рис.4.1, 4.2, 4.3) представляет собой горизонтальную цилиндрическую обечайку, ограниченную с одной стороны эллиптическим днищем, а с другой стороны крышкой 30.
 рис.4.1                              рис.4.2.
Установка (рис.4.1, рис.4.2., рис.4.3) состоит из камеры 20 (см. рис.4.1), системы откачки, приемного устройства 14, блоков питания магнетронов 52, пульта управления 1.
Вакуумная камера 20 (см. рис.4.2) предназначена для проведения в ней процесса напыления металлов на различные изделия.
рис.4.3
Вакуумная камера состоит из самой камеры 20 и эллиптической крышки 30 (см. рис. 4.1).
Камера предназначена для размещения основных узлов установки в процессе напыления и состоит из корпуса 20, контейнера 22 с роликами 23, электропривода 17, двух двухсторонних магнетронов 29, электродов ионной очистки 33.
Корпус 20 представляет собой сварную цилиндрическую обечайку Ду 1600 из стали с приваренным днищем и фланцем. В цилиндрической части корпуса имеется 2 патрубка Ду 400 и один патрубок Ду 63 для соединения с откачной системой. Кроме этого, установка имеет патрубок для напускного клапана, оливки для системы охлаждения магнетронов, вакуумные вводы электропитания ионной очистки и магнетронов. Контейнер представляет собой сваренную из профилей раму, на которой закреплены четыре ролика с каждой стороны для перемещения его по направляющим камеры и выгрузки на приемное устройство 14 (см. рис.4.1.).
Для ведения процесса напыления в камере размещены два двухсторонних магнетрона 32, представляющих собой магнитопровод с постоянными магнитами. 
Магнитопровод размещён в водоохлаждаемом корпусе-катоде. Вода для охлаждения магнетронов подводится через вводы 55 (см. рис. 4.3.), а внутри камеры с помощью шлангов, изготовленные из вакуумной резины. Электропитание к магнетрону подводится через высоковольтные вводы  камеры 54 и далее проводом.
На крышке камеры находится иллюминатор с окном для контроля состава плазмы, например прибором УСК (с установкой не поставляется), визуального контроля физического травления подложки (тлеющий разряд) и контроля за процессом напыления и работой магнетронов.
Крышка камеры 6 (см. рис. 4.1) предназначена для герметизации вакуумной камеры после загрузки в нее контейнера с изделиями. Крышка изготовлена из сферического днища с приваренным фланцем. Внутри крышки установлены 2 защитных экрана из листовой нержавеющей стали. Крышка 6 внизу на лапах имеет два ролика, опирающихся на направляющую 13. При открытой камере крышка на 4° наклонена от вертикальной поверхности фланца камеры и опирается в верхней части роликом на швеллер 10.
Перемещение крышки осуществляется двумя механизмами:
1) механизмом движения крышки (привод крышки);
2) механизмом прижима крышки.
Механизм движения крышки  состоит из червячного редуктора  и электродвигателя, приводящего во вращение один из роликов крышки.
Крышка по команде со щита управления может перемещаться влево и вправо по швеллеру 10 (см. рис. 4.1) и направляющей 13.
Механизм прижима крышки  предназначен для прижима крышки к фланцу камеры и состоит из корпуса 4, поршня 7 с уплотняющей манжетой 8, штока 11, электромагнитного клапана VЕ5, который предназначен для соединения полости механизма прижима крышки (пневмоцилиндра) с вакуумной системой агрегата NL. Механизм прижима крышки соединен с атмосферой отверстием с дроссельной шайбой, что позволяет при открывании крышки камеры производить напуск атмосферного воздуха непосредственно в полость вакуумного цилиндра.  

 

Домой Вверх Контакты Новости Вакуумные установки Купим Литература

Послать письмо admin@deko-vacuum.ru with questions or comments about this web site.
Авторские права © 2001 Конев Сергей Александрович (идея, графика, все материалы, оцифровка текстов, Web- дизайн).
Последнее изменение: января 23, 2017.

При перепечатке материалов, ссылки на страницы сайта:

http://www.deko-vacuum.ru  http://www.deko-vacuum.narod.ru  - обязательны.