Общество ограниченной ответственности "ДеКо Вакуум"

  Домой Вверх Карта сайта

DeKo Vacuum Ltd.       

Домой
Вверх
 

 

 

 

 

 

Система вакууммирования установки УВМ (см. рис.4.6) состоит из форвакуумной и высоковакуумной систем откачки.

Форвакуумная система, предназначена для создания в вакуумной камере 20 (см. рис. 4.2) давления порядка 1.10-2 мм рт.ст. - 5.10-2 мм рт.ст., состоит из агрегата (АВЗ-180), вакуумных клапанов с электромеханическим магнитным приводами 8, 9, 17, 24 и трубопроводов.

Агрегат 12 (см.рис.4.6) (АВЗ-180) предназначен для:

1) откачки внутренней полости механизма прижима (цилиндра) 2 крышки вакуумной камеры 1;

2) создания предварительного разрежения для запуска двух насосов ND1 19 и ND2 15 и совместной откачки вакуумной камеры 1.

Клапаны 8, 9, 17, 24, предназначены для перекрытия вакуумных магистралей и отсоединения форвакуумной системы откачки от вакуумной камеры.

Высоковакуумная система откачки предназначена для создания в камере высокого вакуума - 5.10-5 мм рт.ст. и состоит из двух диффузионных паромасляных насосов 15 и 19 (НВДМ-400) (см. рис. 4.6), проточных водяных ловушек ЛВ-400 14 и 20, вакуумных затворов 7 и 21 (2ЗВЭ-400), угловых патрубков, трубопроводов, вакуумных клапанов с магнитным и электроприводами 8,17.

Датчики давления вакуума 5,10,22 и 6,16,23 (см. рис. 4.6) предназначены для замера давления у входа в насосы АВЗ-180, НВДМ-400 и в вакуумной камере.

Диффузионные паромасляные насосы 15,19 предназначены для создания в вакуумной камере высокого вакуума.

Проточные водяные ловушки 14 и 20 предназначены для предотвращения миграции паров масла в вакуумную камеру.

Вакуумные затворы 7 и 21 предназначены для перекрытия высоковакуумной системы откачки от камеры.

Устройство и принцип действия насосов НВДМ-400, АВЗ-180, затворов 23ВЭ-400 и клапанов приведены в паспортах на эти изделия.

Клапаны с электро и магнитным приводами 8,9,17,24  предназначены для аварийного отсечения вакуумной камеры, насоса 12 (АВЗ-180), высоковакуумных насосов НВДМ-400 как друг от друга, так и от атмосферы в случае отключения электроэнергии. Клапаны 8 и 17 служат для ручного отключения высоковакуумных насосов 15 и 19 (НВДМ-400) в случае их неисправности.

Приемное устройство (рис.4.1) служит для загрузки контейнера, расположенного на тележке напыляемыми изделиями и для его разгрузки.

Приемное устройство состоит из рамы с ручкой, рычагом, опирается на 4 ролика и две направляющие.

Загрузка и выгрузка контейнера из камеры осуществляется после стыковки направляющих приемного устройства с направляющими камеры.  По отдельному договору возможно изготовление откачной системы, на основе вакуумного оборудования фирмы Varian (Torino, Italy).

 Домой Вверх Дальше

Домой Вверх Контакты Новости Вакуумные установки Купим Литература

Послать письмо admin@deko-vacuum.ru with questions or comments about this web site.
Авторские права © 2001 Конев Сергей Александрович (идея, графика, все материалы, оцифровка текстов, Web- дизайн).
Последнее изменение: января 23, 2017.

При перепечатке материалов, ссылки на страницы сайта:

http://www.deko-vacuum.ru  http://www.deko-vacuum.narod.ru  - обязательны.