Общество ограниченной ответственности "ДеКо Вакуум"
DeKo Vacuum Ltd.
|
Общество ограниченной ответственности "ДеКо Вакуум"
DeKo Vacuum Ltd.
|
|
|
Система вакууммирования установки УВМ (см. рис.4.6) состоит из форвакуумной и высоковакуумной систем откачки. Форвакуумная система, предназначена для создания в
вакуумной камере 20 (см. рис. 4.2) давления порядка 1.10-2 мм рт.ст.
- 5.10-2 мм рт.ст.,
состоит из агрегата (АВЗ-180), вакуумных клапанов с электромеханическим
магнитным приводами 8, 9, 17, 24 и трубопроводов. Агрегат 12 (см.рис.4.6) (АВЗ-180) предназначен для: 1) откачки внутренней полости механизма прижима
(цилиндра) 2 крышки вакуумной камеры 1;
2) создания предварительного разрежения для запуска двух насосов
ND1 19 и
ND2 15 и
совместной откачки вакуумной камеры 1. Клапаны 8, 9, 17, 24, предназначены для перекрытия
вакуумных магистралей и отсоединения форвакуумной системы откачки от вакуумной
камеры.
Высоковакуумная система откачки предназначена для
создания в камере высокого вакуума - 5.10-5 мм рт.ст. и состоит из
двух диффузионных паромасляных насосов 15 и 19 (НВДМ-400) (см. рис. 4.6),
проточных водяных ловушек ЛВ-400 14 и 20, вакуумных затворов 7 и 21 (2ЗВЭ-400),
угловых патрубков, трубопроводов, вакуумных клапанов с магнитным и
электроприводами 8,17. Датчики давления вакуума 5,10,22 и 6,16,23 (см. рис.
4.6) предназначены для замера давления у входа в насосы АВЗ-180, НВДМ-400 и в
вакуумной камере. Диффузионные паромасляные насосы 15,19 предназначены
для создания в вакуумной камере высокого вакуума. Проточные водяные ловушки 14 и 20 предназначены для
предотвращения миграции паров масла в вакуумную камеру. Вакуумные затворы 7 и 21 предназначены для перекрытия
высоковакуумной системы откачки от камеры. Устройство и принцип действия насосов НВДМ-400,
АВЗ-180, затворов 23ВЭ-400 и клапанов приведены в паспортах на эти изделия. Клапаны с электро и магнитным приводами 8,9,17,24
предназначены для аварийного отсечения вакуумной камеры, насоса 12 (АВЗ-180),
высоковакуумных насосов НВДМ-400 как друг от друга, так и от атмосферы в случае
отключения электроэнергии. Клапаны 8 и 17 служат для ручного отключения
высоковакуумных насосов 15 и 19 (НВДМ-400) в случае их неисправности. Приемное устройство (рис.4.1) служит для загрузки
контейнера, расположенного на тележке напыляемыми изделиями и для его разгрузки. Приемное устройство состоит из рамы с ручкой, рычагом,
опирается на 4 ролика и две направляющие. Загрузка и выгрузка контейнера из камеры осуществляется
после стыковки направляющих приемного устройства с направляющими камеры.
|
|
Послать письмо
admin@deko-vacuum.ru with questions or comments about this web site.
|
