Общество ограниченной ответственности "ДеКо Вакуум"

  Домой Вверх Карта сайта

DeKo Vacuum Ltd.       

Домой
Вверх
 

 

 

 

 

 

 
Основные технические характеристики вакуумных установок с магнетронным испарением металлов (УВМ-1600, УВМ-1600х3800)  приведены в таблице 1. Номенклатура показателей надежности и нормы надежности приведены в таблице 2. 
Таблица 1
 
п/п
Наименование параметра
Норма
УВМ-1600
УВМ-1600Е
УВМ-1600х3800
УВМ-1200
1
Максимальная производительность установки, м2/цикл
7,3
3,5
 (плоское)
и 3 (тела вращения)
16
4
2
Наибольшая величина натекания л.Па/с (л.мкм рт.ст./c)
2 (15)
3
Наибольшие размеры напыляемых изделий, мм
  • длина
  • ширина
 
 
 
1350
1300
 
 
 
1350
1300 (60)
 
 
 
3250
1300
 
 
 
-
-
4
Давление в вакуумной камере до напуска аргона, Па (мм рт.ст.) не более
 
6,65 10-3 (5.10-5)
 
5
Давление в вакуумной камере во время ионной очистки, Па (мм рт.ст.), не более
 
13,3 (1.10-1)
 
6
Давление в вакуумной камере при напылении Па (мм рт.ст.)
6,65 10-1 – 6,65
 
(5.10-3 - 5.10-2)
 
7
Время откачки камеры без подложек до давления 6,65.10-3 (5.10-5 мм рт.ст.), с, не более
1500
1500
2100
-
8
Распыляемый материал
Титан, медь и другие немагнитные металлы
9
Время ионной очистки для зеркал с, не менее
420
10
Расход охлаждающей воды при температуре 288 К ± 5° К (15 °С ± 5 0С) и давлении на входе в установку 2.105 Па (2 кгс/см2) л/ч, не более
2000
-
11
Габаритные размеры (без вакуумного насоса NL поз.12 и  приемного устройства), мм, не более 
  • высота
  • длина
  • ширина
2580
2345
3900
2580
2345
3900
2580
4500
3900
-
-
-
12
Масса установки, кг, не более
3500
3500
4000
-
13
Толщина наносимого слоя покрытия, мкм, по латуни до
5
14
Коэффициент отражения зеркал с алюминиевым отражающим покрытием, не менее
 
0,77
15
Расход газообразного аргона высшего сорта ГОСТ 10157-79 при давлении в камере 6,65.10-1 Па (5.10-3 мм рт.ст.), кг/ч, не более
 
2,5.10-2
16
Установленная мощность, кВт, не более
70
70
85
35
17
Напряжение питающей сети при частоте 50 Гц, В
380/220
 

Цены на оборудование (01.03.2013 г.):

1. Состав и стоимость комплектующих вакуумных установок УВМ 1600х3800 (металлизация стекла, пластмасс) .......

Состав и стоимость комплектующих вакуумных установок барабанного типа с

двойной системой испарения металлов (например, металлизация мебельной фурнитуры, оптических отражателей, колпачков, мелких деталей, тел вращения и т.п. изделий):

2. Схема 1   Универсальная схема откачки вакуумной напылительной установки барабанного типа металлизации деталей с повышенным газовыделением и магнетронным и термическим испарением....

Стоимость комплектующих системы......
3.
Схема 3 Минимально возможная схема откачки вакуумной напылительной установки (термическое, дуговое испарение)....
Стоимость комплектующих системы.....

4. Схема 4 Обычная схема откачки вакуумной напылительной установки металлизации деталей....
Стоимость комплектующих системы....

 
 
Примечания:
1. Расход электроэнергии и время ионной очистки нормируется при напылении зеркал алюминием, для других изделий не нормируется и устанавливается потребителем в процессе эксплуатации установки.
2. Среднее время загрузки и выгрузки установки стёклами магнетронных установок размером 1350х1300 равно 180 с.
Требования к надежности:
Номенклатура показателей надежности и нормы надежности должны соответствовать указанным в таблице 2.
 
Таблица 2
Наименование показателя
Норма
1. Средняя наработка на отказ, ч, не менее
300
2. Средний ресурс до капитального ремонта ч, не менее
5600
3. Средний срок службы до капитального ремонта, год, не менее
3
4. Средний срок сохраняемости, год, не менее
1
5. Коэффициент готовности, не менее
0,98
6. Установленная безотказная наработка, ч, не менее
64
7. Установленный ресурс до капитального ремонта, ч, не менее
2950
8. Установленный срок сохраняемости, год, не менее
1
 
Примечания:
1. Нормы показателей безотказности обеспечиваются с учетом поставляемого с изделием комплекта ЗИП и проведением потребителем технического обслуживания согласно эксплуатационной документации.
2. Нормы показателей долговечности обеспечиваются с учетом приобретаемого потребителем ремонтного комплекта ЗИП.
  •  Под отказом установки понимается событие, в результате которого рабочие параметры установки не соответствуют требованиям пунктов 4, 7 таблицы 2.
  • Критерии предельных состояний установки - предельные состояния базовых деталей (камера, крышка камеры), требующие восстановления путем полной разборки установки, сварки и точной механической обработки на станках.
  • Критерии отказов установки - отказы составных частей и комплектующих изделий (КИ). Замена элемента из ЗИП не рассматривается как отказ установки.
 Видеоролик:
(требования: Pentium 1 и выше, звук. карта, проигрыватель Windows Media. Формат MPEG-4)
Установка УВН 1600х3800.
Скачать (4,6 мБт, ).

Домой Вверх Контакты Новости Вакуумные установки Купим Литература

Послать письмо admin@deko-vacuum.ru with questions or comments about this web site.
Авторские права © 2001 Конев Сергей Александрович (идея, графика, все материалы, оцифровка текстов, Web- дизайн).
Последнее изменение: января 23, 2017.

При перепечатке материалов, ссылки на страницы сайта:

http://www.deko-vacuum.ru  http://www.deko-vacuum.narod.ru  - обязательны.